美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

美國FSM 高溫薄膜應力及基底翹曲測試設備：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備。

QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導體、生命科學和制藥行業的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優化。

美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備。

StrainScope Flex可調式實時應力儀 產品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫用包裝材料、高分子類密封材料等。

實時型StrainScope S3/S4 應力儀 產品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫用包裝材料、高分子類密封材料等。