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            薄膜應力及基底翹曲測試設備

            簡(jiǎn)要描述:美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質(zhì)不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì )引起應力。 如應力太大會(huì )引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。 薄膜應力激光測量?jì)x利用激光測量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

            • 產(chǎn)品型號:FSM 128
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
            • 產(chǎn)品資料:
            • 更新時(shí)間:2024-03-19
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 5186

            詳細介紹

            美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

            ??在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質(zhì)不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì )引起應力。 如應力太大會(huì )引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。 薄膜應力激光測量?jì)x利用激光測量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

            ??1) 快速、非接觸式測量

            ??2) 128型號適用于3至8寸晶圓

            ??128L型號適用于12寸晶圓

            ??128G 型號適用于470 X 370mm樣品,

            ??另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺

            ??3) 雙激光自動(dòng)轉換技術(shù)

            ??如某一波長(cháng)激光在樣本反射度不足,系統會(huì )自動(dòng)使用

            ??另一波長(cháng)激光進(jìn)行掃瞄,滿(mǎn)足不同材料的應用

            ??4) 全自動(dòng)平臺,可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)

            ??5) 可加入更多功能滿(mǎn)足研發(fā)的需求

            ??電介質(zhì)厚度測量

            ??6) 500 及 900°C高溫型號可選

            ??7) 樣品上有圖案亦適用

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            美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規格

            ??1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

            ??2) 樣本尺寸:

            ??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

            ??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

            ??FSM 128G: /大550×650 mm

            ??3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

            ??4) 激光強度: 根據樣本反射度自動(dòng)調節

            ??5) 激光波長(cháng): 650nm及780nm自動(dòng)切換(其它波長(cháng)可選)

            ??6) 薄膜應力范圍: 1 MPa — 4 GPa

            ??(硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

            ??7) 重復性: 1% (1 sigma)*

            ??8) 準確度: ≤ 2.5%

            ??使用20米半徑球面鏡

            ??9) 設備尺寸及重量:

            ??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

            ??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

            ??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

            ??電源 : 110V/220V, 20A



             

             

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