QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導體、生命科學和制藥行業的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優化。

晶圓幾何形貌測量及參數自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統適用于晶圓多種材質的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實現的尺寸與結構測量內容包括：包括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測試)。

三維形貌儀通過集成一對單點，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協調運動，QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前，后和基準表面3D點云地形，用于托盤中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。

Filmetrics 3D光學輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現今高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。