FSM413紅外激光測厚儀的相關知識普及

FSM413紅外激光測厚儀產品簡介：

1、利紅外干涉測量技術，非接觸式測量。

2、適用于所有可讓紅外線通過的材料硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…

FSM413紅外激光測厚儀規格：

1、測量方式：紅外干涉(非接觸式)。

2、樣本尺寸：50、75、100、200、300 mm， 也可以訂做客戶需要的產品尺寸。

3、測量厚度：15—780μm (單探頭)；3 mm (雙探頭總厚度測量)。

4、掃瞄方式：半自動及全自動型號；另2D/3D掃瞄(Mapping)可選。

5、襯底厚度測量：TTV、平均值、小值、大值、公差。

6、粗糙度：20—1000Å (RMS)。

7、重復性：0.1μm (1 sigma)單探頭*；0.8 μm (1 sigma)雙探頭*。

8、分辨率：10 nm。

9、設備尺寸：413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)；413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 。

10、重量：500 lbs。

11、電源：110V/220VAC。

12、真空：100 mm Hg。

13、樣本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS)；150μm厚硅片（沒圖案、雙面拋光并沒有摻雜）。